张海霞——微电子学专家、北京大学教授

专家信息：

张海霞——微电子学专家，女，1970年出生。现任北京大学微电子学研究院教授、博士生导师，MEMS研究所副所长，微纳应用技术国际大赛iCAN发起人。

 教育及工作经历： 

1998年毕业于华中科技大学获得博士学位，之后加入清华大学做博士后研究。 

2001年加盟北京大学微电子学研究院。 

2004年至2006年在美国加州大学戴维斯分校与凯斯西储大学任访问教授。 

 社会兼职： 

1、中国微米纳米技术学会副秘书长。 

2、全球华人微纳米分子系统学会秘书长。 

3、全球华人微米纳米技术合作网络CINN执行主席。

 科学研究：

 研究方向：

 1、MEMS设计技术与工具开发；

 2、SiC MEMS技术；

 3、生物 MEMS技术；

 4、纳米电子机械系统NEMS。

  承担的科研项目情况：

 主持多项国家973、863等重要科研项目。

 1、国家自然科学基金项目“DRIE工艺及其复杂现象的机理与建模研究”。

 2、科技部863项目“适用于植入式系统的无线能量和信号传输系统”和“ICP加工模型模拟与IP库”。

 3、973项目“纳机电结构加工工艺的评价与表征方法研究”。

 4、预研项目“特种MEMS薄膜生长技术及应用—碳化硅”。

 5、北京市自然科学基金项目“SiC材料制备工艺技术，结构特性及在MEMS中应用”。

  科研成果：

2006年获得国家技术发明二等奖。

论文专著：

在 JMM、Sensors & Actuators: A. Physical、MEMS03等国内外学术期刊和著名国际会议上发表学术论文50余篇，参与编写教材一本。

 出版专著：

1、《微纳传感器及其应用》 北京大学出版社 2010

 发表论文： 

1 SiC薄膜制备MEMS结构 王煜; 郭辉; 张海霞; 田大宇; 张国炳; 李志宏 北京大学微电子研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室; 北京大学微电子研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室 【会议】中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（二） 2005-08-01

2 PECVD SiC薄膜的应力控制及抗腐蚀特性研究 郭辉; 王煜; 张海霞; 田大宇; 张国炳; 李志宏 北京大学; 北京大学 【会议】中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一） 2005-08-01

3 不同牺牲层材料上LPCVD氮化硅薄膜内应力的测试与研究 王莎莎; 陈兢; 张海霞 北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室; 北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室 【会议】中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一） 2005-08-01

4 开启微纳传感领域的新天地——Transducers 2011国际会议综述 孙旭明; 朱福运; 唐伟; 张晓升; 袁泉; 张海霞 北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室 【期刊】信息与电子工程 2011-08-25

5 茶多酚对胰岛素分泌和胰岛内钙离子浓度的影响 王进; 沈剑敏; 黄华宇; 张海霞 兰州大学化学化工学院; 北京大学天然药物及仿生药物国家重点实验室 【期刊】兰州大学学报(医学版) 2010-12-20

6 硅DRIE刻蚀工艺模拟研究 朱福运; 于民; 金玉丰; 张海霞 北京大学微电子学研究院微米/纳米国家重点实验室 【期刊】中国电子科学研究院学报 2011-02-20

7 微纳米分子系统研究领域的最新进展——IEEE NEMS 2011国际会议综述 孙旭明; 张海霞 北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室 【期刊】信息与电子工程 2011-04-25

8 物联网中的高科技创新 张海霞 北京大学微电子研究院 【期刊】物联网技术 2011-04-20

9 可调谐微机电电感(英文) 方东明; 张海霞 北京大学微电子学研究院微米纳米加工技术国家重点实验室 【期刊】微纳电子技术 2010-03-15

10 基于弯曲测试的纳米结构机械力学特性的表征 徐临燕; 栗大超; 胡小唐; 张海霞; 黄玉波 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 北京大学微米纳米加工技术国家重点实验室; 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津; 北京大学微米纳米加工技术国家重点实验室 【期刊】传感技术学报 2006-05-30

11 金属和SiC复合薄膜的应力及应力梯度控制技术 纪明; 陈哲; 田大宇; 王玮; 张国炳; 张海霞 北京大学微电子学研究所微米/纳米加工技术国家重点实验室; 北京大学微电子学研究所微米/纳米加工技术国家重点实验室; 北京大学微电子学研究所微米/纳米加工技术国家重点实验室 北京 【期刊】纳米技术与精密工程 2008-01-15

12 适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感 陈石清; 李旦; 李修函; 张海霞 北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室 北京; 北京交通大学电子信息工程学院 【期刊】传感技术学报 2008-04-15

13 微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状 周荣春; 张海霞; 郝一龙 北京大学微电子学研究院; 北京大学微电子学研究院; 北京大学微电子学研究院 MEMS研究所; MEMS研究所 【期刊】微纳电子技术 2003-08-25

14 弓型悬臂梁微静电谐振器力学建模 赵江铭; 沈雪瑾; 张海霞; 陈晓阳 上海大学机电工程与自动化学院; 北京大学微电子所; 上海大学机电工程与自动化学院 上海 【期刊】微纳电子技术 2003-08-25

15 MEMS CAD系统IMEE的研究和开发 张海霞; 郭辉; 肖志勇; 周荣春; 郝一龙 北京大学微电子学研究院; 北京大学微电子学研究院; 北京大学微电子学研究院 北京 【期刊】微纳电子技术 2003-08-25

16 用于MEMS器件芯片级封装的金-硅键合技术研究 刘雪松; 闫桂珍; 郝一龙; 张海霞 北京大学微电子学研究院; 北京大学微电子学研究院; 北京大学微电子学研究院 北京 【期刊】微纳电子技术 2003-08-25

17 纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性 张海霞; 张泰华; 郇勇 北京大学微电子研究院; 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室; 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室 北京 【期刊】微纳电子技术 2003-08-25

18 SiC薄膜制备MEMS结构 王煜; 郭辉; 张海霞; 田大宇; 张国炳; 李志宏 北京大学微电子研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室; 北京大学微电子研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室; 北京大学微电子研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室 北京 【期刊】中国机械工程 2005-07-30

19 以工艺为主线的MEMS设计工具IMEE 郝一龙 ; 张海霞 ; 郭辉 ; 肖志勇 ; 周荣春 北京大学微电子研究院; 北京大学微电子研究院 【期刊】今日电子 2003-06-10

20 加速度系统的结点化模型仿真 肖志勇; 杨振川; 张海霞; 郝一龙 北京大学微电子学研究院; 北京大学微电子学研究院; 北京大学微电子学研究院 北京 【期刊】北京大学学报(自然科学版) 2004-05-20

21 集成化MEMS工艺设计技术的研究 张海霞; 郭辉; 张大成; 徐嘉佳; 郝一龙 北京大学微电子研究院; 北京大学微电子研究院; 北京大学微电子研究院 北京 【期刊】纳米技术与精密工程 2004-09-30

 荣誉奖励：

1、2004年北京大学优秀班主任三等奖。

 2、2007年北京大学优秀青年教师教学奖。